Chamber Health Monitoring

チャンバー状態監視

コンパクトなボディに質量分析計に必要な機能の全てを搭載。チャンバー内のガス成分監視に最適

接ガス部にステンレス材料を用いた小型・自己温調タイプの絶対圧力計

オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計

小型で業界最高水準※の精度を実現した装置組込みタイプの放射温度計 ※自社調べ

専用ソフトウェアを用いて、高精度にエッチングプロセスやドライクリーニングの終端検出を可能にするプラズマ発光モニター

CVD装置のドライクリーニングの終端検出を行い、クリーニングプロセス時間の最適化に貢献

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案