Mask Inspection

多様なニーズに応える検査プラットフォーム

リソグラフィ工程において異物を迅速に測定＆レビュー、スマートファクトリー対応を実現

エアーブローと真空吸引で異物を自動除去

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案