Em geral, uma única medição de ângulo é suficiente para a maioria das aplicações. Se suas amostras forem ultrafinas, o ângulo escolhido para a medição deve ser próximo ao ângulo de Brewster do substrato para obter a maior sensibilidade. No entanto, em geral, um ângulo de incidência de 70° (próximo ao ângulo de Brewster do silício) é suficiente para a maioria das outras aplicações, independentemente do ângulo de Brewster do substrato.
Em geral, realizar medições em um único ângulo de incidência é suficiente para a maioria das aplicações. No entanto, se a amostra for complexa (multicamadas, graduada, não uniforme ou muito espessa), recomenda-se coletar dados em 2 ou 3 ângulos de incidência diferentes para maximizar a quantidade de dados, reduzir as correlações entre parâmetros e auxiliar na determinação de incógnitas como espessura, propriedades ópticas, gradação, não uniformidade, etc.
Liquid cell on sample holder
Sim, a elipsometria pode ser usada para medir amostras imersas em líquido ou em uma interface sólido/líquido. Oferecemos diversos acessórios para medição de líquidos que auxiliam nesse tipo de medição.
As reflexões traseiras podem ser tratadas mecanicamente antes da medição ou matematicamente após a medição. Para remover ou bloquear mecanicamente as reflexões traseiras, você pode tentar etapas como rugosificar a parte traseira da amostra, usar uma máscara para bloquear o feixe refletido pela parte traseira ou mudar para um feixe de menor diâmetro para melhor separar os feixes refletidos pela frente e pela parte traseira, coletando assim apenas o feixe refletido pela frente.
If you are not able to mechanically remove or block the back reflections, they may be included in the measurement, but they then need to be taken into account when modeling the sample after measurement. The HORIBA DeltaPsi 2 software allows for the easy incorporation of back reflections for simple modeling.
Sim, se você tiver um goniômetro manual ou automático capaz de atingir 90°, poderá usar o elipsômetro para medir tanto a transmitância em incidência normal quanto a refletância em um ângulo oblíquo. Se você tiver um sistema de ângulo fixo, poderá realizar medições de refletância nesse ângulo, mas precisará usar o acessório de transmissão para obter as medições de transmitância.
Se você estiver interessado em medir a refletância em incidência quase normal, também oferecemos um módulo de refletometria como acessório, que permitirá que você faça isso.
Sim, você pode coletar dados de refletância em um ângulo (geralmente entre 45 e 75 graus), mas não em incidência quase normal. Com o Módulo de Refletometria, no entanto, você poderá medir a refletância em incidência quase normal.
Example of 3D mapping measurement
Sim. Para realizar o mapeamento, você precisará de uma plataforma de translação XY automática. O software DeltaPsi 2 pode fornecer mapas 2D e 3D das espessuras e propriedades ópticas resultantes.
Oferecemos diversos acessórios que permitem vários tipos de medições. Alguns exemplos incluem:
