Microespectroscopia à sua maneira!

Neste webinar, demonstramos a relevância da aplicação de ferramentas espectroscópicas como Raman, fotoluminescência, fotoluminescência resolvida no tempo e catodoluminescência na caracterização de parâmetros-chave de desempenho de wafers para materiais de banda proibida larga.

A necessidade simultânea de aumentar o desempenho e reduzir o custo dos dispositivos semicondutores atuais implica o uso de wafers cada vez maiores, ao mesmo tempo que se reduz o tamanho das estruturas dos dispositivos, aumentando assim sua complexidade. Essa combinação de requisitos significa que as ferramentas de metrologia para caracterizar tais wafers precisam evoluir para lidar com wafers tão grandes – de até 300 mm de diâmetro. Ao mesmo tempo, essas ferramentas precisam se tornar mais sofisticadas para desvendar a complexidade das estruturas de dispositivos cada vez menores.

Neste webinar, apresentamos resultados de um sistema de microespectroscopia multimodal da HORIBA para caracterização de semicondutores. O sistema SMS é modular e flexível, capaz de acomodar até sete espectroscopias diferentes, incluindo Raman, fotoluminescência, fotoluminescência resolvida no tempo (tempo de vida), refletância e transmitância, entre outras.

Neste webinar, apresentamos um conceito inovador que adiciona diversas espectroscopias a qualquer microscópio óptico – os chamados Sistemas Padrão de Espectroscopia para Microscópios, ou SMS.

Neste webinar, apresentamos brevemente o fenômeno e a técnica da espectroscopia de fotoluminescência, bem como seu lugar e alcance de aplicação entre outras técnicas para a caracterização de materiais semicondutores.

Neste webinar, discutiremos as capacidades espectroscópicas do sistema SMS, mostrando exemplos de aplicações para Raman, fotoluminescência (fluorescência), tempo de vida, refletância, transmitância, espalhamento em campo escuro e eletroluminescência.

Neste webinar, apresentamos um conceito inovador que adiciona diversas espectroscopias a qualquer microscópio óptico – os chamados Sistemas Padrão de Espectroscopia para Microscópios, ou SMS.