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Erfahren Sie mehr über spektroskopische Ellipsometrie, indem Sie sich Bildungsvideos ansehen und einige der Anwendungen in unserer Sammlung von Webinaren entdecken.
Die spektroskopische Ellipsometrie ist eine oberflächensensitive, zerstörungsfreie und nicht-invasive optische Technik, die weit verbreitet für dünne Schichten und Oberflächencharakterisierung eingesetzt wird. Sie basiert einfach auf der Änderung des Polarisationszustands des Lichts, wenn es schräg von einer Dünnschichtprobe reflektiert wird. Je nach Materialart können spektroskopische Ellipsometer die Dicke von wenigen Å bis zu Dutzend Mikrometern messen. Es ist auch eine ausgezeichnete Technik für mehrschichtige Messungen.
Die spektroskopische Ellipsometrie ermöglicht die Charakterisierung verschiedener Dünnschichteigenschaften, wie Schichtdicke, optische Eigenschaften (n,k), optischer Bandspalt, Grenzflächen- und Rauheitsdicke, Filmzusammensetzung, Gleichmäßigkeit nach Tiefe und Fläche und mehr.
Für spektroskopische Ellipsomie geeignete Materialien gehören Halbleiter, Dielektrika, Polymere, organische Stoffe und Metalle. Ellipsometrie kann auch zur Untersuchung von Feststoff-Flüssig- oder Flüssigkeit-Fluss-Grenzflächen verwendet werden.
HORIBA spektroskopische Ellipsometer verwenden innovative Technologien, um Hochfrequenz-Polarisationsmodulationsmessungen ohne mechanische Bewegung durchzuführen, was im Vergleich zu herkömmlichen Ellipsometern einen schnelleren, größeren Bereich und eine höhere Charakterisierungsgenauigkeit ermöglicht.
Die Ellipsometrie ist ein bekanntes, aber manchmal nicht gut verstandenes Verfahren zur Charakterisierung dünner Schichten. Auf der Grundlage der Lichtpolarisation und der indirekten Bestimmung von Parametern ermöglicht die Ellipsometrie die Ermittlung der Dicke und der optischen Parameter dünner Schichten, der Rauheit, der Porosität und sogar der Zusammensetzung einfacher Schichten und komplexer Stapel. Die Ellipsometrie ist in den Bereichen Halbleiter, Photovoltaik, optische Beschichtungen und bei allen Anwendungen, bei denen dünne Schichten verwendet werden, sehr nützlich und hat seit einigen Jahren eine instrumentelle Reife erlangt, die es ermöglicht, sie auch für Nichtfachleute zu nutzen. Kommen Sie und entdecken Sie (wieder) die Grundlagen dieser leistungsstarken Technik für Ihre Materialcharakterisierung!
Sieh es dir jetzt an.Mit einem Wirkungsgrad von ca. 20 % gelten hybride Perowskit-Solarzellen als vielversprechende Kandidaten für die Photovoltaik der nächsten Generation. Dank des breiten HORIBA Portfolios können verschiedene Techniken eingesetzt werden, um detaillierte Einblicke in die optoelektronischen Eigenschaften und Mechanismen dieser Materialklasse zu gewinnen. In dieser Anwendungsbeschreibung untersuchten wir die Eigenschaften von CH₃NH₃PbI₃-Dünnschichten, die auf einem spinbeschichteten PEDOT:PSS-Substrat abgeschieden wurden, mittels spektroskopischer Ellipsometrie, stationärer und zeitaufgelöster Fluoreszenz sowie Glimmentladungs-Emissionsspektroskopie. Der Einfluss der Luftexposition wurde ebenfalls untersucht.
Mehr lesenEntdecken Sie das Webinar von Dr. Arnaud Etcheberry (ILV, Versailles, Frankreich)
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Spektroskopischer Ellipsometer zur einfachen Messung von Dünnschichten
Leistungsstarker und kosteneffektiver spektroskopischer Ellipsometer
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