Semiconductores

Materiales 2D

El material 2D se define como un material cristalino que consiste en una única capa de celda unitaria de ese material. En particular, el grafeno y los dicalcogenitos de metales de transición (TMDC) están atrayendo la atención como materiales semiconductores de próxima generación. Cuando se utiliza como semiconductor, el análisis estructural preciso es importante porque su estructura cristalina y cristalinidad afectan enormemente al rendimiento.
 


Análisis estructural | Grosor y calidad de la película | Análisis de defectos cristalinos | Detección/Análisis de objetos extraños

Análisis estructural

Grosor y calidad de la película

En el avance de la tecnología de películas delgadas mediante la miniaturización, proponemos soluciones para lograr un alto control de deposición de películas, como la evaluación in situ durante el proceso de deposición de la película y la evaluación de películas delgadas a nivel de orden Ångström.


Información de membrana obtenida mediante un elipsómetro espectroscópico

Análisis de defectos cristalinos

Reducir defectos y controlar con precisión las impurezas se ha vuelto cada vez más importante en dispositivos semiconductores para la comunicación de alta velocidad. Presentaremos casos de análisis que ilustren esto.

Detección/Análisis de objetos extraños

Los defectos en las obleas también pueden ser causados por materia extraña, y introduciremos un método de análisis elemental microscópico para identificar la causa de los defectos.

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