Un matériau 2D est défini comme un matériau cristallin constitué d'une seule couche cellulaire unitaire. Le graphène et les dichalcogénures de métaux de transition (TMDC) suscitent notamment l'intérêt en tant que matériaux semi-conducteurs de nouvelle génération. Lorsqu'ils sont utilisés comme semi-conducteurs, une analyse structurale précise est essentielle, car leur structure cristalline et leur cristallinité influencent grandement leurs performances.
Analyse structurelle | Épaisseur et qualité des films | Analyse des défauts cristallins | Détection/analyse de corps étrangers
Dans le cadre de l'avancement de la technologie des films minces grâce à la miniaturisation, nous proposons des solutions permettant d'obtenir un contrôle élevé du dépôt de films, comme l'évaluation in situ pendant le processus de dépôt de films et l'évaluation des films minces au niveau de l'ordre d'Ångström.
Informations sur la membrane obtenues à l'aide d'un ellipsomètre spectroscopique
La réduction des défauts et le contrôle précis des impuretés sont devenus de plus en plus importants dans les dispositifs semi-conducteurs destinés aux communications haut débit. Nous présenterons des cas d'analyse illustrant ce point.
Les défauts dans les plaquettes peuvent également être causés par des corps étrangers, et nous présenterons une méthode d'analyse élémentaire microscopique pour identifier la cause des défauts.
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