Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
VAPBOX Series
Liquid Source Vaporization System
VAPBOX Series는 자체 펄스 인젝션을 통한 기화 및 안개화 기술과 최적화된 히팅 챔버를 통해 고신뢰성과 높은 재현성을 가진 액체 재료 기화 시스템입니다.
이것에 의해, 저증기압 재료, 용제중의 고체 재료, 열분해하기 쉬운 액체 재료등의 기화가 가능합니다. 또한 상온 혹은 상압에서의 미스트 발생 및 공급도 가능합니다.
Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control System
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.
Selection of countries and territories where this product is available:
Japan
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