Mixer Application System

HORIBA는 고성능 기화 시스템을 제공하는 선두 기업 중 하나입니다. HORIBA의 액체 소스 기화기는 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 사용되어 안전하고 효율적으로 액체 전구체를 사용 지점으로 전달합니다. 액체 전구체가 진공 또는 대기압에서 기화가 필요한 곳이라면, HORIBA에는 사용자의 요구 사항을 충족하는 기화 시스템을 제공하는 기화 기술이 있습니다. HORIBA는 30년 이상 직분사, 혼합분사, 거품, 베이킹 기화 기술을 이용한 기화 노하우를 보유하고 있습니다.

HORIBA 액체원 기화시스템은 액체 물질을 안정적이고 효율적으로 기화할 수 있습니다. 또한 HORIBA의 기화기는 HORIBA가 보유한 다양한 자동 리필 시스템과 연결하여 안전하고 지속적으로 증기를 사용할 수 있습니다. 벌크 전구체 탱크는 제조 공정을 방해하지 않고 교환할 수 있어 다운타임이 없습니다.

Some Liquid Materials HORIBA Has Experience With

Acetic Acid	Benzene	B(OCH3)3	BTBAS	C6F6
Cyclohexane	Decyl-TMOS	DPM	DPMS	Ethanol
Ge(OCH3)4	GeCl4	H2O	HCD	HDFDA
HMDS	HMDSO	i-Octane	IPA	Me-Cyclohexane
Methanol	n-Octane	OMCTS	OMTS	P(OCH3)3
PO(OCH3)3	SAM24	Si(CH3)4	Si(OCH3)4	SiCH3Cl3
SiCl4	SiH(OCH3)3	SiHCl3	Ta(OC2H5)5	TBTDETa
TDEAHf	TDEAT	TDMAS	TDMAT	TEB
TEMAHf	TEMAZr	TEOS	TEPO	THF
Ti(O-iPr)4	TiCl4	TMCTS	Toluene	1,3-DMA