Chamber Exhaust Pressure Controller.

chamber의 내부 압력을 임의의 값에 일정하게 제어하는 배기압 Controller 입니다. 고분해능의 스테핑 모터와 독자 구조의 버터플라이 밸브에 의해 고속 응답·고분해 성능을 실현하고 있습니다.

Segment: Semiconductor

Division: Fluid Control

Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

Features
Specifications

고진공 대응: 스텐레스 보디를 채용
내부식성 대응: PTFE(불소 수지) 채용 모델도 구성
배기압 제어 시스템을 구축: - 미세한 차압 센서(EMTGC1B-A
콘트롤러(PCU-3000)를 구성
RoHS 대응

Model EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.