電子工業無塵室空氣分子污染監測

 

在半導體、平面顯示器和通訊設備等電子相關產業中,AMC* 會降低無塵室中設備和產品的性能並導致品質下降。

*AMC: Airborne Molecular Contamination

問題

  • 由於手動分析需要成本、技能和時間
  • 想知道更換化學濾網的適當時間
  • 電子元件的模具腐蝕
  • 霧鏡鏡片製造設備
  • 氧化膜的突破電壓下降
  • 蝕刻誤差
  • 薄膜異常生長

HORIBA的AMC監控系統實現污染狀況可視化並降低管理成本

HORIBA的AMC監測系統支援透過自動測量監測污染物濃度趨勢和化學過濾器維護,並強化基於手動分析的傳統測量,有助於解決客戶的問題。透過對室外大氣的組合測量,我們可以利用該系統提供更全面的測量解決方案。

特徵

  • 穩定的自動連續測量

          透過監控趨勢來估計產品/週邊設備缺陷的原因以及何時更換化學過濾器

  • 操作簡單

          不需要特殊技能。降低管理成本、時間和人力成本

  • 根據客製化建立系統

          選線器和便攜式推車式(可選)的多點測量。

          不僅支援潔淨室測量還支援室外空氣測量。

實例探究

  • 測量潔淨室內或通風空氣中的空氣分子污染物 (AMC)
  • 設備的外圍多點的集中測量
  • 檢測特定事件,例如由於交通量增加(室外大氣)而導致的氮氧化物濃度升高。

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