在製造光纖時，等離子氣體控制對於此過程至關重要。 HORIBA的流量測量和控制技術用於精確、重複地控制這些氣體的流量。為了製造，光纖製造商可以使用透過發泡器系統或加熱輸送的 POCl3、SiCl4 和 GeCl4。汽化過程的精確且可重複的控制取決於發泡器/加熱的精確操作以及氣體量的嚴格控制。

HORIBA 的旗艦產品 SEC-Z500X 系列可控制高達 500slm 的流量，與我們的高溫 SEC-8000 系列 MFC 結合，是這些關鍵製程氣體精確流量控制的完美解決方案。