加熱系統

液體材料汽化方法廣泛應用於支援IT產業的半導體、液晶面板和光纖製造流程。該設備用於連續、準確地產生高純度液體物料的汽化氣體流量。 恆溫室內建有充滿液體材料的汽化槽和控制汽化氣體流量的質量流量控制器。汽化罐內產生的汽化氣體由質量流量控制器直接控制，以產生所需的流量。與液體材料和汽化氣體接觸的部件採用不銹鋼。它可以汽化多種腐蝕性和有毒液體材料。