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液體汽化系統

液體汽化系統

液體汽化器

HORIBA 是高性能汽化器的領先供應商之一。 HORIBA 的液體源蒸發器用於整個半導體製造過程,以安全高效地將氣相液體輸送到使用點。無論液體前驅物需要在真空或大氣壓力下汽化,

HORIBA 都可以提供汽化技術來滿足您的要求。 HORIBA 擁有 30 多年的汽化專業知識,採用直接噴射、混合噴射、加熱汽化技術。

先進製程正在拓展關鍵化學汽化技術的界限

關鍵製程化學品的蒸發並不是一件容易的事。首先,先進製程不斷變化並使用新化學物質,但其數據可能有限。在某些情況下,研究人員可能需要用於化學物質的汽化設備,一旦確定了化學性質,就可以開始平衡液體流量、載氣流量、上游和下游壓力以及材料相容性的工作。通常需要載氣,並且在過程中必須仔細計算和控制載氣流量。汽化器的溫度也很關鍵——平衡所需的溫度與熱造成液體損壞的可能性。確定正確的汽化方法需要仔細選擇和規範配套儀器-氣體/液體流量控制器/儀表、汽化噴嘴和溫度控制器。這不是一個簡單的事,但卻是 HORIBA 成為全球領導者的技術。

Vaporization Carrier Gas
Direct Vaporization

HORIBA 的汽化解決方案範圍從幾克/分鐘到 >25 克/分鐘。作為解決方案供應商,我們不僅可以推薦 VC 和 MV 系列等汽化組件,還可以提供 LSC / LU 等完全整合的系統。透過將我們世界領先的氣體和液體質量流量控制器和儀器與我們的蒸發器結合使用,使用者可以確保關鍵製程化學品的精確且可重複的蒸發。

Triple Point

The graph in the left shows the different possible states of matter. There are two ways to get from a liquid to a gaseous state. The first method involves increasing the temperature while holding the pressure steady, as indicated by the arrow with the broken line broken line. This method is commonly used in everyday settings—to boil water and convert it to steam, for example. Heating a liquid takes time, however, which makes rapid vaporization difficult. On the other hand, one can also heat the liquid in advance and then abruptly reduce the pressure, as illustrated by the arrow with the solid line Solid line. The pressure in the vaporization section of the injector can be reduced instantaneously, and this makes it possible to vaporize a liquid source instantaneously.

汽化原理

噴射方式

以下列表涵蓋了蒸發液體源並將其供應到處理室所涉及的主要步驟。

  1. 測量液源流量,並透過閥門回饋控制液量。
  2. 液體瞬間完全汽化。 氣體被釋放而不會凝結回液態。
  3. 使用注射方法的汽化系統依序執行上面列出的步驟 1、2 和 3。

VC系列裝置使用質量流量計測量液體來源的液體流量,不使用載氣。 MI/MV 系列裝置使用質量流量計進行測量,並配備質量流量控制器,可將載氣引入裝置中以蒸發液體源。

氣液混合法

MI/MV系列採用此汽化方法。由於噴嘴前方載氣的壓力較高,因此可以有效加熱。液體源和加熱的載氣在噴嘴前的氣/液混合區域混合在一起,當它們通過噴嘴時壓力降低,從而使混合物蒸發。 汽化效率高於傳統汽化方法。當採用這種方法時,可以產生較大的流量,並且可以降低產生溫度。

不同液體的最佳汽化方法

在半導體裝置中,不斷需要更高的整合度和細節,使用各種液體來源來強調所創建的薄膜的特性。 HORIBA STEC 提供經過最佳化的汽化系統,可充分利用當今尖端製程中使用的各種液體來源的特性。

See HORIBA's Liquid Source Vaporization System

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