Los contaminantes moleculares transportados por el aire (AMC) son contaminantes del aire que existen en forma molecular y desempeñan un papel fundamental en la calidad de los productos de fabricación de semiconductores modernos, incluso cuando existen en concentraciones de niveles de ppb extremadamente bajos.
Los AMC se clasifican en categorías como ácidos inorgánicos, ácidos orgánicos y sulfurosos. Entre todos, el sulfuro de hidrógeno (H2S) causa impactos negativos como la pérdida de características del producto debido a su poder de reducción cuando existe en forma gaseosa y la corrosión de la superficie del metal cuando existente en forma de líquido. La fuente de contaminaciónH2 S está ampliamente extendida. Los ejemplos incluyen la actividad volcánica y la erupción, el funcionamiento de maquinaria pesada que utiliza diésel como combustible y el aumento de la concentración de AMC en la sala limpia a través de la entrada de aire de reposición. Por lo tanto, los filtros químicos se usan ampliamente para eliminar H2 S antes de ingresar a la sala limpia, y el nivel de contaminación se verifica convencionalmente mediante cromatografía iónica.
Dado que H2 S tiene baja solubilidad en el agua en condiciones neutras a ácidas, y su disociación también es baja, es difícil detectar la conductividad eléctrica por cromatografía iónica. Por lo tanto, las soluciones alcalinas y de peróxido de hidrógeno se mezclan comúnmente y se usan como líquido de recolección.
Sin embargo, a menudo se producen sesgos (errores humanos) causados por la diferencia en las proporciones de mezcla según el personal, lo que da como resultado resultados de análisis inestables. Además, dado que cada análisis lleva tiempo (varios días para cada resultado de prueba) y costos de mano de obra, para muchas fábricas resulta financieramente inalcanzable aumentar la resolución temporal y espacial del análisis.
En conclusión, el análisis manual puede tener sesgo, no captura eventos aleatorios como el aumento inesperado de H2 S debido a la actividad volcánica repentina o al deterioro de la filtro químico, y no proporciona suficientes datos necesarios para el reconocimiento oportuno de la contaminación química y la contaminación Análisis de la fuente debido al problema del costo de la mano de obra.
Sistema de Monitoreo AMC
La medición continua de la contaminación porH2 S en múltiples puntos de muestreo de la sala limpia (salida de filtro químico, área cerca del equipo, área con muchas personas trabajando) ayuda a reconocer el punto de irrupción de la contaminación H2 S y tomar inmediatamente medidas para prevenir el impacto en el deterioro de la calidad del producto. El monitoreo continuo y el software especial permiten establecer umbrales de contaminación y realizar operaciones fáciles y rentables.
Ejemplo de puntos de muestreo
Ejemplo de datos de medición H2 S
Analizador de sulfuro de hidrógeno ambiental (H2 S)
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