Ellipsométrie : Techniques de modélisation

• Référence : ELL2
• Dates:
  • 19 - 21 mars 2018
  • 13 - 15 novembre 2018

• Participants: Utilisateurs expérimentés. Il est nécessaire d’avoir un niveau de connaissances équivalent à la formation ELL1
• Durée: 3 Jours  (9h - 17h 30, 21 heures)
• Lieu: Palaiseau

Maîtriser les techniques de mesure et de modélisation associées à l’analyse d’échantillons transparents, anisotropes, de plusieurs échantillons présentant des propriétés communes, et de matériaux inconnus. Les participants sont invités à amener leurs échantillons.

Jour 1

Session pratique sur des échantillons nonidéaux : Mesures et modélisation

• Rappels théoriques
• Modélisation des couches à gradients
• Analyse de films épais > 2 µm
• Epaisseur d’échantillon non uniforme
• Etude d’échantillon dépolarisant

Jour 2

Travaux pratiques sur des échantillons nonidéaux

• Analyse de données ellipsométriques et de transmission pour des échantillons de films
  métalliques fins
• Anisotropie : apprendre à identifier l’axe d’orientation pour des mesures de modélisation
  appropriées  

Jour 3

Travaux pratiques - Echantillons des participants

• Telephone: + 33 (0) 1 69 74 72 00
• Fax: + 33 (0) 1 69 09 07 21
• Email: training.hfr@horiba.com

Utilisateurs expérimentés. Il est nécessaire d’avoir un niveau de connaissances équivalent à la formation ELL1.