• Référence : ELL1
  • Dates :

    • 5 - 7 mars 2018
    • 15 - 17 octobre 2018

  • Participants: Nouveaux utilisateurs des ellipsomètres HORIBA
  • Durée : 3 Jours (9h - 17h 30, 21 heures)
  • Lieu: Palaiseau
  • Connaître la théorie de l’ellipsométrie
  • Savoir mesurer les échantillons opaques et transparents
  • Maîtriser les fonctions simples de modélisation pour l’analyse de couches homogènes transparentes et absorbantes.

Jour 1

Session théorique et pratique

  • Théorie de l’ellipsométrie
  • Instrumentation
  • Aperçu des procédés de modélisation
  • Description des fonctions principales du logiciel Delta Psi2  et pratique sur l’instrument
  • Procédure de vérification du bon fonctionnement de l’instrument avant mesure
  • Mesure et modélisation des films transparents sur des substrats opaques  

Jour 2

Session pratique et utilisation du logiciel

  •  Analyse d’échantillons de films minces semiabsorbants dans des monocouches et multicouches de substrat opaque
  • EMA, Rugosité
  • Analyse de substrat de verre
  • Analyse de films fins semi-absorbants sur verre
  • Analyse de films absorbants
  • Paramétrage et choix des fonctions de dispersion
  • Analyse de couches d’épaisseur non uniformes

Jour 3

Travaux pratiques : échantillons des participants

Nouveaux utilisateurs des ellipsomètres HORIBA.