Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X series

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X

반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의 종류마다, 다양한 유량에 따라 필요한 Mass Flow의 기능을 집약하고 있습니다. 고객님들의 자유대로 필요한 Mass Flow를 사양 변경 할 수 있습니다. 게다가 RoHS 규제에 대응해, 환경보존, 기업가치의 향상에도 역할을 하고 있습니다. 미래의 매력이 넘치는 고성능, 고부가가치의 [x]. 바로 반도체산업의 미래를 책임질 Mass Flow의 탄생입니다.

Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

Multi Range/Multi Gas 대응
고객의 편의대로 Mass Flow Controller 의 사양 변경 가능합니다.
소량 액체(5SCCM F.S)부터 대유량 (200SLM F.S.)까지 모두 구성
고정도
±1.0% S.P.(set point) 보증
고속응답
Full range 1초 이내(T98) 다양한 PID를 탑재
소형화
면간거리 106mm(50SLM이하,1/4VCR Type), 1.125inch 가스파넬에 대응.

SEC-Z512X and SEC-Z522X Digital / Analog Mass Flow Controller, for flows up to 50slm N2 equivalent. Detailed specification click here.

SEC-Z532X and SEC-Z542X Digital / Analog Mass Flow Controller, for flows up to 200slm N2 equivalent. Detailed specification click here.

SEC-Z514X and SEC-Z524X Devicenet™ Mass Flow Controller, for flows up to 50slm N2 equivalent. Detailed specification click here

SEC-Z534X and SEC-Z544X Devicenet™ Mass Flow Controller, for flows up to 200slm N2 equivalent. Detailed specification click here.

제품 문의

HORIBA제품의 자세한 정보를 원하시면, 아래의 양식에 내용을 입력을 부탁드립니다.

* 는 필수입력항목입니다.

Related products

CRITERION D500
CRITERION D500

Pressure Insensitive Mass Flow Module

CVS-ONE
CVS-ONE

희석 배기가스 분석기

D700MG
D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

DZ-100
DZ-100

Ultra-thin Mass Flow Controller

EXFM-ONE
EXFM-ONE

초음파 배기 유량계

FS-3000
FS-3000

Thermal Flow Splitter

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series
High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series

High Temperature Digital Mass Flow Controller

LE Series
LE Series

Large Flow Liquid Source Vaporization Control System

MV-2000
MV-2000

Mixed Injection System Liquid Vaporizer

S48 Series
S48 Series

General Purpose Mass Flow Controller

SEC-400 Series
SEC-400 Series

Mass Flow Controller

XF Series
XF Series

Digital Liquid Mass Flow Meters

D700MG
D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

FS-3000
FS-3000

Thermal Flow Splitter

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series
High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series

High Temperature Digital Mass Flow Controller

S48 Series
S48 Series

General Purpose Mass Flow Controller

SEC-400 Series
SEC-400 Series

Mass Flow Controller