Flow range N2 equivalent | 10sccm~500slm | |
Gas compatibility | Non corrosive gases. | |
Valve Type | Solenoid valve normally closed with power off | |
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생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비 등, 여러 가지 프로세스에 매력있는 가격으로 대응하고 있습니다.
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Japan
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