Mass flow meter SEF-E series

생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비 등, 여러 가지 프로세스에 매력있는 가격으로 대응하고 있습니다.

Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

Selection of countries and territories where this product is available:
Japan
View the complete list here.

광범위한 유량 제어에 대응:동일 시리즈로 0.2 SCCM로부터 500SLM(N2)까지의 유량 제어 대응
폭넓은 용도에 대응:일반 산업 시장에 있어 다수의 납입 실적을 자랑하고 있습니다.
Low cost:비용 이점을 추구한 모델을 구성:SEC-E40MK3/E50MK3

Flow range N2 equivalent    10sccm~500slm
Gas compatibility Non corrosive gases.
Valve Type 

Solenoid valve normally closed with power off

 Click here for detailed specification.
 

외형도

제품 문의

HORIBA제품의 자세한 정보를 원하시면, 아래의 양식에 내용을 입력을 부탁드립니다.

* 는 필수입력항목입니다.