D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR은 CRITERION™ 기술을 기반으로 고정밀 성능을 갖춘 광범위한 제어 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 새로운 제한기를 설치합니다. D700WR은 전체 범위의 0.1%까지 유량을 제어할 수 있어 사용자가 가스 공급 시스템의 유연성을 최적화하는 데 도움이 됩니다. 예를 들어, 시스템에 고유량 및 저유량 제어를 위해 여러 개의 MFC를 설치한 경우 사용자는 MFC 수를 줄이고 같은 위치에 다른 MFC를 다른 용도로 사용할 수 있습니다.

Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

Selection of countries and territories where this product is available:
China,Germany,Ireland,Israel,Italy,Japan,Korea (South),Malaysia,Singapore,Taiwan,United Kingdom,United States
View the complete list here.

  • 0.1~100% 넓은 범위 제어 및 저유량을 위한 높은 정확도

    • 프로세스 최적화를 위한 유연성 제공 

  • ≤ 500ms 스텝업 응답

    • 높은 생산성과 향상된 프로세스 성능 제공

  • 고장 없는 견고한 CIP 프레스 센서

    • 대량 생산 시 다운타임 및 인건비 절감

  • PFA 노즐에 의한 10배 향상된 밸브 차단 및 내식성 

    • 입자 위험이 적은 견고성으로 가동 중단 시간 감소 및 수율 최적화

  • 상태 모니터 기능

    • 더 스마트한 장애 예측을 위해 더 많은 내부 데이터 제공  

Output items of State monitor function

Flow/Pressure zero adjustment counts 

Valve drive counts 

Record of max/min P0,P1,P2 pressure 

Record of max/min Block temperature 

Total time over/below pressure spec. 

Total time over/below temperature spec. 

Total working time 

Total control time 

Total flow time (per calibration instance) 

Total flow rate (per calibration instance) 

Go to External drawing

*1 Please contact us for supported kinds of gas and glowrates.
*2 This is guaranteed value under 25 ℃ and ≤ 1.0 × 10-3 Pa (A).
*3 Output noise is included in Repeatability.
*4 Setting time is MFC output signal and N2 gas at 23 ℃. Other detail definition follows setting time of "SEMI Standard E17-1011 Section 4.1.4".
*5 Pressure perturbation has to be smaller than 20 % pressure change per second and ±70 kPa/sec (±10 PSI/sec).
*6 The "(TYP.)" value is a representative ability value at the time of in-house verification.
*7 PFA means Poly [tetrafluoroethylene-co-perfluoro (alkyl vinyl ether)]
*8 PCTFE means Polychlorotrifluoroethylene.
*9 After installation, be sure to perform zero point adjustment refer to "D707WR Zero Adfustment Procedure".
*10 EtherCAT® is a registered trademark and patented technology, licensed by Beckhoff Automation GmbH in Germany.

제품 문의

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