High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series

High Temperature Digital Mass Flow Controller

High Temperature Digital Mass Flow ControllerSEC-8000F/D series는 종래의 고온 환경 대응 Mass Flow Controller의 Digital 제어회로를 탑재한 모델입니다. Digital Network의 실현함과 동시에 지능화 가스 Valve의 구축, 배선감소에 따른 소형화한 가스 판넬의 구축 등 다양한 기체 및 액체 시스템이 구축이 가능해졌습니다. 또 종래 제품의 성능 향상 및 폭넓은 프로세스에 대응하고 있습니다.

Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

고온대응 모델에 Digital 제어회로를 탑재
±1.0%S.P.(SET POINT) 보증
1초이내(T98) 다양한 PID(특허 의뢰중)을 탑재
Digital Network 가 실현되고 고도의 유체제어 시스템 구축 가능.
RoHS 대응 모델

제품 문의

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