Digital Liquid Mass Flow Meters / Controllers

Digital Liquid Mass Flow Meters / Controllers LF-F/LV-F series
Digital Liquid Mass Flow Meters Controllers LV-F series

반도체 디바이스의 고속·고밀도화에 따라, 디바이스 구조의 미세화 뿐만 아니라 재료의 이동에 의한 대응이나 생산성 향상을 목표로 해 300 mm 웨이퍼 프로세스의 도입을 하고 있습니다.이 동향에 따라, 반도체 프로세스에 이용되는“액체 재료”에서도 다양화와 대 유량화가 진행되고 있습니다. 폐사의 액체 재료 기화 시스템은 프로세스에 따라 액체 재료 기화 디바이스(Injection 방식, Baking 방식)와 액체 재료 실린더로부터 안전하고 신속히 기화 디바이스에 재료 공급을 실시하는 Recharge시스템도 구성해 종합적인 시스템을 제공하고 있습니다.

Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

디지털 회로의 채용에 의해, 고정밀도·고속 응답이 실현
마이크로 리터로부터의 미소 유량 제어가 가능
저비점(낮은 끓는점) 액체 재료, 고점도 액체 재료의 정밀 유체 제어가 가능
Ultra Clean 대응
RoHS 지령 대응

Liquid mass flow meter specification. click here

Liquid mass flow controller specification. click here

외형도

제품 문의

HORIBA제품의 자세한 정보를 원하시면, 아래의 양식에 내용을 입력을 부탁드립니다.

* 는 필수입력항목입니다.

Related products

CRITERION D500
CRITERION D500

Pressure Insensitive Mass Flow Module

CVS-ONE
CVS-ONE

희석 배기가스 분석기

D700MG
D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

DZ-100
DZ-100

Ultra-thin Mass Flow Controller

EXFM-ONE
EXFM-ONE

초음파 배기 유량계

FS-3000
FS-3000

Thermal Flow Splitter

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series
High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series

High Temperature Digital Mass Flow Controller

LE Series
LE Series

Large Flow Liquid Source Vaporization Control System

MV-2000
MV-2000

Mixed Injection System Liquid Vaporizer

S48 Series
S48 Series

General Purpose Mass Flow Controller

SEC-400 Series
SEC-400 Series

Mass Flow Controller

XF Series
XF Series

Digital Liquid Mass Flow Meters

D700MG
D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

FS-3000
FS-3000

Thermal Flow Splitter

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series
High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series

High Temperature Digital Mass Flow Controller

S48 Series
S48 Series

General Purpose Mass Flow Controller

SEC-400 Series
SEC-400 Series

Mass Flow Controller

Corporate