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双通道高精度 HF 浓度计
高精度、高性能的 HF 浓度计支持 +/- 2.0 ppm(最高精度)微制程管理、高速采样和输出、双通道传感器和传感器内压力校正功能。 适用于半导体精细制程控制。
传感器内压力校正功能
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