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湿法制程控制

HORIBA 一系列化学制程控制和湿法制程检测产品用于整个半导体制程和其他高性能应用,以提高制程稳定性并减少浪费。

化学药液浓度计

HORIBA 化学药液浓度计用于半导体制程等高科技行业的关键清洗和蚀刻工艺。我们的浓度计实时测量各种化学药液的浓度,如 SC-1、SC-2、SPM、HF 等。

HORIBA 化学药液浓度计可以测量单个组分也可以同时测量多达八个组分(取决于产品型号)。HORIBA 在线和离线高性能制程浓度计保证与您的制程和设备匹配。

A我们所有产品型号都要求低维护率,且相当稳定。这些产品可提供高精度和可重复性的制程检测,以改进先进制程并减少浪费。

在线 pH 计

pH 值是各行业最常见的测试参数之一。HORIBA 在线 pH计用于各行业制程,包括医药、食品饮料和农业等。

在要求连续测量 pH 值的场景下,我们高质量在线 pH 计可以随着时间的推移收集和记录关键制程数据,帮助提高制造质量和生产率。

超纯水检测设备

部分制造行业要求纯净水或超纯水稳定可靠,例如半导体、制药和发电等行业。根据具体应用,对水进行去除杂质处理和调节。

HORIBA 提供高灵敏度的二氧化硅浓度计用于检测超纯水或纯净水。该浓度计广泛运用于先进半导体制程。

化学药液浓度计

CS-900

在线 pH 计

UP-100

超纯水检测设备

SLIA-300

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微量 pH 计

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