压差式质量流量控制器

这款技术先进的压差式质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。

高性能 CRITERION D500 适用于一系列先进的半导体制程，具有压力补偿，多量程/多气体/多压力，G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能，高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。

MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。

HORIBA CS-700 化学药液浓度计能够对先进半导体制程中使用的复杂化学药液的单个化学成分进行高性能测量。
通过改进 HORIBA 的光谱测量技术，CS-700 测量性能提升高达 5 倍。
提供增强的质量控制，改进半导体制程。

低浓度氟化氢中溶解氧的高稳定性测量。在 μg/L 至 mg/L 的三个测量范围之间自动切换。测量范围：0 - 20.00 mg/L。

HORIBA PR-PD2HR 颗粒检测系统延续了光罩/掩膜颗粒检测 PD 系列的高性能，该系列以其高可用性和长期稳定性著称。同时还将信噪比提高3倍以上，操作灵敏度显著提高。