CS-100 Series

独立式化学药液浓度计

CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。除高速响应和紧凑设计等特点外，浓度计还可实时测量每种组分的浓度，通过报警提醒化学药液变化和自动供应的时间。具备执行短周期测量的能力，可准确检测浓度变化。

事业部: 半导体

制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

Model name	CS-100
Measurement principle	Absorption spectroscopic method
Sample temperature	20 to 30 Degree C
Ambient temperature	20 to 25 Degree C
Components	Max. 4 components
Chemical range	Max. 4 ranges
Communication	Parallel I/O, Analog output, RS-232C
Analog output (4-20 mA)	Max. 2 components
Dimension	205(W) X 329(D) X 269(H)mm
Power source	DC 24V
Consumable parts	Halogen lamp
Wavelength	UV/NIR
Wetted material	PTFE, PFA, Sapphire or Quartz