Smart SE

Ellipsomètre spectroscopique puissant et économique

Le Smart SE de HORIBA est un ellipsomètre spectroscopique polyvalent permettant d'effectuer des mesures rapides et précises sur des couches minces. Il permet de déterminer l'épaisseur des couches minces, de quelques angströms à 20 µm, leurs constantes optiques (n, k) ainsi que les propriétés structurelles de ces couches (telles que la rugosité, les couches à gradient optique et les couches anisotropes, etc.).

La plage spectrale de 450 à 1 000 nm est mesurée en quelques secondes et les données ellipsométriques sont analysées à l’aide de la plateforme logicielle DeltaPsi2. Ce logiciel intègre deux niveaux de fonctionnalités permettant à la fois d’effectuer des analyses de routine à l’aide de recettes prédéfinies et de réaliser des analyses avancées grâce à une modélisation ellipsométrique de pointe.

L’ellipsomètre Smart SE est un outil de R&D pour les couches minces d’un excellent rapport qualité-prix, sans compromis sur les fonctionnalités, qui offre des performances de niveau recherche à un prix abordable. Il dispose d’un système de vision intégré pour un positionnement précis du spot, de sept micro-spots automatisés dont la taille peut descendre jusqu’à quelques dizaines de microns pour la mesure de petites structures, et de la capacité de mesurer la matrice de Mueller complète à 16 éléments en quelques secondes seulement pour l’étude d’échantillons complexes.

La conception flexible du Smart SE permet une automatisation complète de la platine d’échantillonnage et du goniomètre, ainsi qu’une utilisation in situ sur des chambres de traitement. Il s’adapte à toutes les applications et à tous les budgets pour un large éventail de domaines d’application, notamment la microélectronique, le photovoltaïque, les écrans, les revêtements optiques, les traitements de surface et les composés organiques.

Segment: Scientific

Division: Spectroscopic Ellipsometry

Fabricant: HORIBA France SAS

Rapide et précis
Facilement évolutif
Visualisation de votre spot sur l'échantillon

Configurations standard
Gamme spectrale	450 nm à 1000 nm
Résolution spectrale	Supérieure à 3 nm
Source lumineuse	Halogène et LED bleue combinées
Temps de mesure	<1 sec à 10 sec
Taille des spots	75 µm * 150 µm, 100 µm * 250 µm, 100 µm * 500 µm, 150 µm * 150 µm, 250 µm * 250 µm, 250 µm * 500 µm, 500 µm * 500 µm
Angle d'incidence	45° à 90° par pas de 5°
Taille d'échantillon	Jusqu'à 200 mm
Alignement de l'échantillon	Ajustement manuel de l'inclinaison et de la hauteur sur 17 mm
Dimensions	100 cm * 46 cm * 23 cm (L * H * P)

Performances
Précision, mesure dans une configuration directe à l'air libre	Ψ = 45°± 0,05° Δ = 0°± 0,2°
Précision de mesure d'épaisseur SiO2/Si 1000 Å	0,04%
Répétabilité de mesure d'épaisseur SiO2/Si 1000 Å	± 0,02%