Semi-conducteurs

Analyse de la dispersibilité des suspensions CMP

Analyse de la dispersion des particules dans une solution mère de suspension

Pour le contrôle qualité de la suspension CMP, nous avons pu rapidement distinguer les produits 'correctes' (OK) d'une taille de 100 nm ou moins et les particules grossières (produits NG) d'une taille d'environ quelques μm.

Analyseur de mesure de la distribution granulométrique par diffraction/diffusion laser Partica LA-960V2

  • Compatible avec des tailles de particules de 10 nm à 5000 μm
  • Précision élevée garantie de ± 0,6 % par rapport aux échantillons standard traçables NIST
  • La distribution granulométrique dans des conditions de concentration élevée peut être mesurée à l'aide d'une cellule à haute concentration.
Partica LA-960V2
Partica LA-960V2

Granulomètre par diffusion laser

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