Semi-conducteurs

Analyse du potentiel zêta des particules dans la suspension CMP

Analyse de l'état de charge des particules de suspension à l'aide d'un petit échantillon (100 μL ou plus)

Il est important d'analyser les composants restant à la surface du wafer lors du nettoyage après le procédé CMP. Le potentiel zêta est l'un des indicateurs de cette évaluation.

Analyseur de nanoparticules nanoPartica SZ-100V2

  • 3 fonctions en 1 : Mesure de la taille des particules, du potentiel zêta et du poids moléculaire
  • Compatible avec des diamètres de particules de 0,3 nm à 10 μm et un potentiel zêta de -500 à +500 mV
  • La distribution granulométrique dans des conditions de concentration élevée peut être mesurée à l'aide d'une cellule à haute concentration.
Série nanoPartica SZ-100V2
nanoPartica SZ-100V2 Series

Analyseur de nanoparticules

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