Surveillance de la contamination moléculaire aéroportée dans les salles blanches de l'industrie électronique

Dans les industries électroniques telles que les semi-conducteurs, les écrans plats et les appareils de communication, l'AMC* peut dégrader les performances et entraîner une détérioration de la qualité des équipements et des produits en salle blanche.

*AMC : Contamination moléculaire aéroportée

Avez-vous des problèmes comme ceux-ci ?

L'analyse manuelle nécessite des coûts, des compétences et du temps
Vous souhaitez connaître le moment approprié pour remplacer le filtre chimique
Corrosion des matrices des appareils électroniques
Lentille miroir embuée de l'équipement de fabrication
Dégradation de la tension de rupture du film oxydé
Erreur de gravure
Croissance anormale d'un film mince

Le système de surveillance AMC de HORIBA permet de visualiser l'état de contamination et de réduire les coûts de gestion

Le système de surveillance AMC d'HORIBA permet de surveiller l'évolution de la concentration de contamination et la maintenance des filtres chimiques grâce à des mesures automatisées. Il complète également les mesures conventionnelles basées sur l'analyse manuelle, contribuant ainsi à la résolution des problèmes de nos clients. Grâce à la mesure combinée de l'atmosphère extérieure, nous pouvons proposer des solutions de mesure plus complètes.

Caractéristiques

Mesure automatique et continue stable
Estimez les causes des défauts des produits/équipements périphériques et quand remplacer les filtres chimiques en surveillant les tendances
Utilisation facile
Aucune compétence particulière n'est requise. Réduisez les coûts de gestion, de temps et de main-d'œuvre.
Construire un système selon la demande
Mesure multipoint avec sélecteur de ligne et chariot portable (option). Permet la mesure en salle blanche, mais aussi en air extérieur.

Études de cas

Mesure de la contamination moléculaire aéroportée (CMA) à l'intérieur d'une salle blanche ou dans l'air de ventilation
Mesure focalisée sur un point tel que la périphérie de certains équipements
Détecte des événements spécifiques, tels qu'une augmentation de la concentration d'oxyde d'azote due à une augmentation du trafic (atmosphère extérieure).