전자 산업 클린룸 내 공기 중 분자 오염(AMC) 모니터링
| 측정 대상 | 암모니아 *1 / 질소산화물 |
| 모델 | APNA-370/CU-2(고감도 모델) |
| 측정 원리 | 교차 변조 화학 발광 검출방법 + 산화촉매 |
| 측정 범위 | 0~100/200/500/1000ppb |
| 최소 검출 한계(LDL) *특정 조건에서 일반적인 값 | 1 ppb |
| 응답 시간 (T90) | CU-2 샘플 입구에서 5분 이내 |
| 표시된 구성 요소 | NH3/ NOx의 순시값 |
| 아날로그 출력 | 4-20 mA DC 또는 0-1 V DC |
| 통신 인터페이스 | RS-232C 또는 TCP/IP |
| 샘플 가스 유량 | Approx. 2.0 L/min |
| 오퍼레이션 가스 | 없음 |
| 교정 가스 | N2 기반 NO가스를 SGGU-610으로 희석 |
| 주변 온도 | 클린룸 온도와 동일 |
| 주변 습도 | 클린룸 습도와 동일 |
| 전력 | AC100~120V, AC200~240V |
| 구성 (분석기 및 교정 장비) | APNA-370/CU-2 (고감도 모델) SGGU-610 (가스 제로 용 특수 NH3스크러버 포함) |
*1: 아민이 포함된 암모니아
・CU-2: 컨버터, SGGU-610: 표준 가스 발생기
