| 측정 대상 | 이산화황 |
| 모델 | APSA-370 (고감도 모델) |
| 측정 원리 | UV 형광법 |
| 측정 범위 | 0~10 / 20 / 50 / 100 ppb |
| 최소 검출 한계(LDL) *특정 조건에서 일반적인 값 | 0.1 ppb |
| 응답 시간 (T90) | 분석기 샘플 유입구(inlet)에서 5분 이내 |
| 표시된 구성 요소 | SO2의 순시 측정값 |
| 아날로그 출력 | 4-20 mA DC 또는 0-1 V DC |
| 통신 인터페이스 | RS-232C 또는 TCP/IP |
| 샘플 가스 유량 | Approx. 0.7 L/min |
| 오퍼레이션 가스 | 없음 |
| 교정 가스 | SGGU-610에서 공급되는 순수 공기 또는 가스 실린더의 초고순도 공기로 희석된 N2기반 SO2 |
| 주변 온도 | 클린룸 온도 |
| 주변 습도 | 클린룸 습도 |
| 전력 | AC100~120 V, AC200~240 V |
| 소비 전력 | 정상 상태에서 약 150 VA |
| 외부 치수 | 430(폭) x 221(높이) x 650(깊이) mm |
| 무게 | Approx. 20 kg |
| 구성 (분석기 및 교정 장비) | APSA-370(고감도 모델) SGGU-610 |
SGGU-610: 표준 가스 발생기