IT-470F-H

고정확도 적외선 온도계 [내장형]

업계를 선도하는* 고정확도 온도계

IT-470F-H는 업계 최고*의 정확도를 갖춘 내장형 비접촉 적외선 온도계입니다. 반도체 및 FPD 생산과 같이 고정밀 온도 측정이 필요한 공정 안정화를 개선하는 데 기여합니다.

 

*Resuts of 2025 in-house study

 

  • 절대적인 높은 측정 정확도 ±0.1°C* 및 0.1°C*의 뛰어난 반복성(2σ)을 제공합니다.

*주어진 조건 하에서 실제 가치입니다.

어플리케이션

고정밀 온도 측정이 요구되는 반도체 및 FPD 생산용

  • 서셉터가 진공 챔버에 있는 경우
    챔버 외부의 창을 통해 서셉터의 온도 측정이 가능합니다.
  • FPD 생산공정 중 액정기판의 표면온도 측정의 경우
    비접촉 측정이므로 표면이 손상되지 않습니다.
  • 연마 시 온도 조절의 경우
    비접촉 측정이므로 표면이 손상되지 않습니다.

 

 

측정 파장8 ~ 14 µm
측정 온도 범위-50 ~ 200 ℃
출력 해상도광디지털 출력 : 0.1 ℃ 전류출력 ≤0.025%FS
정확성*
(광디지털 출력)
±4.0℃ (물체온도 -50℃)
±0.8℃ (물체온도 -20℃)
±0.6℃ (물체온도 0℃)
±0.5℃ (물체온도 23℃)
±0.4℃ (물체온도 100℃~)
(물체 온도의 중간점에 선형 보간을 적용하고 보간된 데이터는 소수점 첫째 자리로 반올림합니다.)
반복성
(광디지털 출력)
0.7℃ (물체온도 -50℃)
0.5℃ (물체온도 23℃)
0.5℃ (물체온도 200℃)
(방출율 = 1.000의 경우 10회 측정한 2σ값을 사용)
응답 시간 (광디지털 출력)광디지털 출력 : ≤1.4초 (95% 응답에서 평균 1초 실행)
데이터 샘플링 기간0.1초
업데이트 기간 표시광디지털 출력 : 0.2초 전류출력 : 0.1초
직경 측정Φ8mm/거리 150mm (입사광량 90%)
방출률 설정0.001~1.000 변경 가능 (공장 출하 시 설정)
작동 온도 및 습도0~55℃, 35~85%RH (결로 없을 경우)
전력직류24V±5%
기능광디지털 출력(JIS F05) 전류출력 4~20mA(부하저항 100Ω, 비절연)
치수55×44×96mm 전원, 전류 케이블 부착 (표준 길이 2m)
무게≤300g

*조건: 작동 온도 24~29℃(부착 온도 포함), 습도 55±20%, 방사율 보정 설정 1.000.

제품 문의

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