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元素分析・定量分析・深さ方向分布

分光エリプソメトリー

膜厚・屈折率・吸収係数など

分光分析

蛍光分光

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構造解析(定性・結晶性・応力・配向など)・マッピング

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構造解析(定性・結晶性など)

カソードルミネッセンス(CL)

発光特性・欠陥・マッピング

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発光特性・欠陥・マッピング

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油分濃度

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元素分析・マッピング

蛍光X線(XRF)

元素分析・定量分析

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元素分析・定量分析・マッピング

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