低浓度气体监测

一般情况下，工业气体如氧气和氮气，是由空气分离设备制造的。将除去水分（H₂O）和二氧化碳（CO₂）的原料空气通入分离装置，利用氮气（N₂）、氩气（Ar）和氧气（O₂）三者沸点不同分离出不同气体。同样地，空气分离设备也能制造其他稀有或惰性气体，如氢气（H₂）和氦气（He）。