椭圆偏振光谱表征CIGS (CuIn1-xGaxSe2)薄膜

CIGS是非常有效的太阳能电池吸收体，常用于多种太阳能电池结构中。能够对其进行无损分析非常重要。椭圆偏振光谱法非常适合这项工作，它分析速度快、无接触，可在真实的fab环境中测试。准确获得CIGS的光学性能的主要挑战是表面粗糙度。无论采用何种沉积方法都会遇到此问题。本文提出了一种便捷的方法表征CIGD的光学特性，采用表面刻蚀使得表面粗糙度引起的光学性质误差最小化。