La fabrication des pointes TERS repose actuellement soit sur le revêtement de pointes AFM standard (totalement ou partiellement) d'une couche métallique, soit sur la gravure de pointes entièrement métalliques par électrochimie de fils métalliques volumineux 22. Ces dernières pointes sont utilisées pour la régulation STM ou la microscopie à force normale ou à force de cisaillement, une fois montées individuellement sur la fourche d'un résonateur en quartz.
La méthode la plus courante aujourd’hui consiste à métalliser les leviers AFM conventionnels avec une fine couche (quelques dizaines de nanomètres) d’or ou d’argent. Le revêtement est généralement réalisé par évaporation 8-9, pulvérisation cathodique 10 ou galvanoplastie 11-12. La réglabilité de la longueur d’onde de résonance plasmonique peut être obtenue en modifiant les dimensions de l’apex final par nano-usinage FIB, une technique également applicable aux fils métalliques gravés en masse13. L'accordabilité du plasmon de longueur d'onde de résonance peut être obtenue en faisant varier les dimensions de l'apex final à l'aide du nano-usinage FIB 14, qui peut également être utilisé pour les fils métalliques massifs gravés 15. Pour une meilleure amélioration des pointes AFM-TERS, une méthode consiste à greffer une nanoparticule à proximité de la pointe AFM. Par exemple, des nanoparticules d'argent peuvent être formées par photoréduction à l'extrémité d'un levier AFM, par irradiation lumineuse dans une solution chimique composée d'AgNO₃ et des agents réducteurs 16. L'efficacité du renforcement peut être ajustée en faisant varier les conditions de dépôt et de recuit des nanoparticules d'argent 17.
La nanoparticule peut également avoir une forme conique, ce qui améliore considérablement l'amplification produite en rétrécissant les lignes de champ et en accumulant la densité de charge à l'apex. Des nanocônes métalliques peuvent être obtenus par une approche descendante par lithographie électronique pour réaliser des nanotrous dans une couche de PMMA, puis par évaporation du métal pour combler ces trous (et former ainsi une nanoparticule conique) et par décollement pour libérer le PMMA 18-19. Ils peuvent également être obtenus par gravure sèche d'une couche métallique, où les nanocônes apparaîtront sous un masque protecteur 20-21.