Un plasma peut être créé à partir de nombreux gaz. L'argon est généralement privilégié en raison de ses caractéristiques. Comme tous les gaz nobles, il est monoatomique, chimiquement inerte et son énergie d'ionisation est élevée (15,76 eV). L'utilisation de l'argon présente de nombreux avantages :
Sa seule limite est sa faible conductivité thermique, ce qui peut également constituer un avantage simplifiant la conception des instruments. Certains instruments utilisant l'hélium ou l'air ont été conçus par le passé. Le coût élevé de l'hélium et les inconvénients de l'air, avec son spectre d'émission complexe, la formation de composés stables avec les éléments et sa faible énergie d'ionisation, ont limité l'utilisation ou les performances de ces instruments.
Toutes les informations pertinentes pour l'analyse élémentaire se situent dans la plage de longueurs d'onde de 120 à 800 nm. Certains instruments ne peuvent accéder qu'à la plage de 160 à 800 nm, ce qui limite le champ d'application de l'ICP-OES. La plage de 120 à 160 nm est particulièrement utile pour l'analyse des halogènes ou pour des raies alternatives pour certaines applications spécifiques.