전자 산업 클린룸 내 공기 중 분자 오염(AMC) 모니터링
| 모델 | 분석기 유닛: APNA-370 변환 유닛: CU-2 |
| 원칙 | 산화촉매 + 화학발광 |
| 범위 | 0-(0.1/0.2/0.5)/1 ppm 또는 0-1/2/5/10 ppm |
| 최소 감지 가능 감도 | 5 ppb |
| 반복성 | FS의 ±2.0% |
| 직선성 | ±2.0% of F.S. |
| 제로 드리프트 | FS/일의 ±2.0% |
| 스팬 드리프트 | FS/일의 ±2.0% |
| 샘플 가스 유량 | 약 3.0 L/min |
| 표시 | 측정값, 알람 |
| 알람 | APNA-370: 교정 오류, 배터리 오류, 유량 오류, 압력 오류, 컨버터 온도 오류, 전원 고장 CU-2: 촉매 온도 오류 |
| 입력/출력 | 0-1V, (순간값과 적산값 또는 평균값의 2개 라인) 접점 입력 출력(범위, 모드, 외부 재설정, 텔레미터 오류, 알람 등) RS-232C(옵션) |
| 힘 | 100/110/115/120/220/230/240VAC, 50/60Hz APNA-370: 약 200 VA CU-2: 약 200 VA |
| 치수 | APNA-370: 430(폭) x 550(깊이) x 221(높이) mm CU-2: 430(폭)x450(깊이)x310(높이) mm |
| 무게 | APNA-370: 약 21 kg CU-2 : 약 20 kg |
