电子洁净间空气污染物监测

在半导体、平板显示器和通信设备等电子行业中,AMC* 会影响洁净室中的设备和产品的性能并导致其质量下降。

*AMC: 空气分子污染物

问题

  • 手工分析更需要成本,技能和时间。
  • 想知道更换化学过滤器的合适时间
  • 电子设备模具腐蚀
  • 生产设备的镜面起雾
  • 氧化膜的突破性电压衰减
  • 蚀刻错误
  • 薄膜异常生长

HORIBA AMC监测系统实现污染状态可视化,降低管理成本

HORIBA提供AMC监测系统,有助于电子工业洁净室质量控制并减少管理成本。HORIBA 的AMC监测系统通过自动测量可以显示污染物浓度趋势和实现对化学过滤器维护的监控。同时测量结果作为基于手工分析的传统测量的补充,有助于解决客户的问题。通过对室外大气的综合测量,我们可以使用该系统提供更全面的测量解决方案。

特征

  • 稳定的自动连续测量
    通过监测趋势估计产品/外围设备缺陷的原因以及何时更换化学过滤器。
  • 操作简单
    不需要特殊技能。降低管理成本、时间和劳动力成本。
  • 根据需求建立系统
    根据客户具体需求,可选择多个测量点位。还有便携式手推车型(选项)。不仅支持无尘室内测量,还支持室外空气测量。

案例

  • 测量洁净室内或通风空气中的空气分子污染物 (AMC)
  • 对某些设备的外围等点进行聚焦测量
  • 检测特定事件,例如由于(室外大气)交通量增加导致氮氧化物浓度升高。

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