非分散紫外吸收法(NDUV)是一种利用分子紫外吸收特性的检测方法。由于臭氧(O 3 )对特定波长的紫外辐射具有吸收特性,因此该方法可用于测量 O 3 气体。O 3 气体在 253.7 纳米紫外波段具有最大吸收带,故采用该波长进行浓度检测。下文将阐述通过 NDUV 技术测量样气中 O 3 的原理。
采用 NDUV 技术的分析仪称为紫外吸收气体分析仪。该仪器结构简单、维护便捷,且具备适用于连续测量的特性,因此被用于 O 3 的检测。
交叉调制法是通过电磁阀单元对气室气体进行周期性切换的调制方式。该方法利用电磁阀单元交替切换样气与参比气,以固定间隔将气体导入气室,从而调制检测器信号。通过使用这种调制检测信号,可有效降低噪声,实现高精度连续气体测量。由于不含被测组分的参比气始终作为零浓度气体进行测量,分析仪的零点保持稳定。
实际采用的交叉调制法通过电磁阀单元作为切换机构(调制机构),使样气与参比气交替流入同一气室。流入气室的参比气是采用臭氧分解器去除样气中 O₃后产生的。(图 3)
紫外吸收气体分析仪广泛用于连续测量和监测光化学烟雾的主要成分 O 3 ,同时也用于监测半导体洁净室中的污染物 O 3 。
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