IT-470F-H

高精度红外温度计[内置式]

行业先进*高精度温度计

IT-470F-H 是一款内置式非接触式红外温度计,具有业界先进的*精度。它有助于提高半导体和 FPD 生产的工艺稳定性。

*2017年内部研究的成果

事业部: 过程与环境
产品分类: 温度计
  • 高测量精度±0.1°C*和优异的重复性0.1°C(2σ)*。

*给定条件下的实际值。

应用

用于需要高精度温度测量的半导体和FPD生产

  • 如果样品位于真空室中
    可以从室外通过窗口对样品进行温度测量。
  • 在FPD生产过程中对液晶衬底的表面温度进行测量时
    由于是非接触式测量,物体表面不会被损坏。
  • 在抛光过程中进行温度控制时
    由于是非接触式测量,物体表面不会被损坏。
测量波长8 ~ 14µm
测量范围-50 ~ 200℃
输出分辨率光学数字输出: 0.1℃    电流输出 ≤0.025%F.S.
精度*
(光学数字输出)
±4.0℃ (物体温度 -50℃)
±0.8℃ (物体温度 -20℃)
±0.6℃ (物体温度 0℃)
±0.5℃ (物体温度 23℃)
±0.4℃ (物体温度 100℃〜)
(物体温度的中间点采用线性插值,插值数据四舍五入到小数点后一位。)
重复性*
(光学数字输出)
0.7℃ (物体温度 -50℃)
0.5℃ (物体温度 23℃)
0.5℃ (物体温度 200℃)
(如果发射率=1.000,则使用10次测量的2σ值)
响应时间(光学数字输出)光学数字输出: ≤1.4 s (运行平均1秒,在95%的响应下)
数据采样周期0.1 s
显示更新周期光学数字输出: 0.2 s  电流输出: 0.1 s
测量直径Φ8mm/距离150mm(入射光量90%)
辐射率设置0.001 ~ 1.000 可改变(在出厂时设置)
操作温度和湿度0 ~ 55℃, 35 ~ 85%RH (无冷凝)
电源DC24V±5%
功能光学数字输出(JIS F05) 电流输出4 ~ 20mA(负载电阻100Ω,非绝缘)
外形尺寸55×44×96mm 附带电源、电线(标准长度2米)
重量≤300g

*条件:工作温度24 ~ 29℃(包括附件的温度),湿度55±20%,发射率校正设置为1.000。

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