椭圆偏振光谱仪表征光伏器件

本应用阐明了椭圆偏振光谱技术表征光伏器件的能力。常用的研究材料有非晶硅、多晶硅、ZnO、ITO、SNO₂、TiO₂、SiN_x、MgO等。