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气体监测仪

HORIBA 开发了一套紧凑的质谱仪系统。紧凑的尺寸通过四极滤质器微型阵列的特别设计实现。该阵列提供了与传统质谱仪相似或更高的灵敏度,但体积更小。该系统能在比传统系统更高的压力下运行,因此减少了对额外真空泵的需求。RGA 稳定可靠,可在工艺开始前检测真空室的状况,例如检测真空室内的水分。

我们还提供屡获殊荣的电容压力计,其设计紧凑,采用全金属材料,具有自温度调节功能。

HORIBA 蒸汽浓度监测仪稳定可靠,使用非分散红外吸收测量技术(NDIR)确保高性能。

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