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产品

HORIBA为半导体和工业加工市场的各环节提供量身定制的可靠流体控制、汽化、分析设备和测量系统解决方案。从材料评估到最终检验的各个阶段,HORIBA产品都有助于在工艺中保持较高效和再现性。

解决方案包括气体和液体质量流量控制器、液体汽化系统、自动液体再充系统、气体发生器、超纯水监控器和化学药液浓度计。

流体控制

流体控制系统

干法过程控制

湿法过程控制

Metrology

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