Semiconductores

Análisis del potencial zeta de partículas en suspensión CMP

Análisis del estado de carga de partículas de suspensión utilizando una muestra pequeña (100 μL o más)

Es importante analizar los componentes que permanecen en la superficie de la oblea durante el proceso de limpieza tras el proceso CMP. El potencial zeta es uno de los indicadores de esta evaluación.

Analizador de nanopartículas nanoPartica SZ-100V2

  • 3 funciones en 1: Medición del tamaño de partículas, potencial zeta y peso molecular
  • Compatible con diámetros de partículas de 0,3 nm a 10 μm y potencial zeta de -500 a +500 mV
  • La distribución del tamaño de las partículas bajo condiciones de alta concentración puede medirse utilizando una celda de alta concentración.
nanoPartica Serie SZ-100V2
nanoPartica Serie SZ-100V2

Analizador de Nanopartículas

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