IT-470F-H

Termómetro infrarrojo de alta precisión [tipo integrado]

Termómetro de alta precisión líder en la industria*

El IT-470F-H es un termómetro infrarrojo sin contacto de tipo integrado con una precisión líder en la industria*. Contribuye a mejorar la estabilización de procesos, para los que se requiere una medición de temperatura de alta precisión, como la producción de semiconductores y FPD.

 

*Resultados del estudio interno de 2025

 

  • Precisión de medición absolutamente alta de ±0,1 °C* y repetibilidad superior (2σ) de 0,1 °C*.

*Valor real, bajo condiciones dadas.

Aplicación

Para la producción de semiconductores y FPD que requieren una medición de temperatura de alta precisión

  • En caso de que un susceptor esté en una cámara de vacío
    La medición de la temperatura de un susceptor es posible desde el exterior de una cámara a través de la ventana.
  • En el caso de la medición de la temperatura superficial del sustrato de cristal líquido en el proceso de producción de FPD.
    Como medición sin contacto, la superficie no se daña.
  • En caso de control de temperatura en el pulido
    Como medición sin contacto, la superficie no se daña.

 

 

Longitud de onda de mediciónDe 8 a 14 µm
Rango de temperatura de medición-50 a 200℃
Resolución de salidaSalida digital óptica: 0,1 ℃ Salida de corriente ≤ 0,025 % FS
Exactitud*
(Salida digital óptica)
±4,0℃ (temperatura del objeto -50℃)
±0,8℃ (temperatura del objeto -20℃)
±0,6℃ (temperatura del objeto 0℃)
±0,5℃ (temperatura del objeto 23℃)
±0,4℃ (temperatura del objeto 100℃~)
(Se aplica interpolación lineal para los puntos medios de la temperatura del objeto y los datos interpolados se redondean a un decimal).
repetibilidad
(Salida digital óptica)
0,7 ℃ (temperatura del objeto -50 ℃)
0,5 ℃ (temperatura del objeto 23 ℃)
0,5 ℃ (temperatura del objeto 200 ℃)
(En caso de emisividad = 1.000 y utilizar el valor 2σ de la medición 10 veces)
Tiempo de respuesta (salida digital óptica)Salida digital óptica: ≤1,4 s (promedio de funcionamiento de 1 s, con una respuesta del 95 %)
Periodo de muestreo de datos0,1 segundos
Periodo de actualización de la pantallaSalida digital óptica: 0,2 s Salida de corriente: 0,1 s
Medición del diámetroΦ8 mm/Distancia 150 mm (cantidad de luz incidente 90 %)
Ajuste de emisividad0,001 a 1,000 modificable (configuración de fábrica)
Temperatura y humedad de funcionamiento0 a 55 ℃, 35 ~ 85 % de humedad relativa (sin condensación)
AlimentaciónCC 24 V ± 5 %
FunciónSalida digital óptica (JIS F05) Salida de corriente de 4 a 20mA (resistencia de carga de 100 Ω, no aislada)
DimensionesCable de alimentación y corriente de 55 × 44 × 96 mm conectado (longitud estándar de 2 m)
Peso≤300 g

*Condición: Temperatura de funcionamiento de 24 a 29 ℃ (incluye temperatura del accesorio), humedad 55 ± 20 %, ajuste de corrección de emisividad 1.000.

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