Auto SE

Auto SE-HORIBA

Spectroscopic Ellipsometer for Simple Thin Film Measurement

Auto SE는 간단한 원버튼 조작으로 샘플의 박막을 자동으로 분석하는 새로운 박막 측정 시스템입니다. 박막의 두께, 광학 상수, 샘플 표면의 거칠기 및 이질성 등을 단 몇 초만에 완벽하게 분석하고 보고합니다.

Auto XYZ Stage, 측정하는 지점의 실시간 이미지화, 자동으로 선택되는 Spot 사이즈 등이 특징으로, 다양한 액세서리를 통한 여러가지 응용 분야에 적용 가능합니다.

Auto SE는 고장 수리 및 유지 보수를 위한 포괄적인 Operator 안내와 함께 문제 자동 탐지와 진단을 위한 진단 지시를 내장하고 있습니다. 또한 박막 측정과 장치 품질 관리를 위해서 Turn-Key 방식으로 만들어 졌으며, 자동화로 인해 더욱 편리하게 사용할 수 있는 새로운 박막 측정 시스템입니다.

Segment: Scientific
Manufacturing Company: HORIBA France SAS

더욱 쉽고 간단한 박막 분석 지원.  
샘플을 볼 수 있는 Vision system. 
Spot size 25x60 µm까지 가능. 
광범위한 액세서리 선택 가능.

Spectral range: 440-850 nm
Spot sizes: automatic selection >500µm; 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
Detection: CCD – Resolution: 2nm
Sample stage: 200x200 mm, automatic XYZ adjustment, vacuum check, Z height 50 mm
Sample viewing: CCD camera - Field of view: 1.33x1 mm – Resolution: 10µm
Goniometer: Fixed at 70° - Possible set up at 66° and 61.5°
Numerous accessories
Measurement time: 1s
Accuracy:  NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
Repeatability:  NIST 15nm ± 0.2 Å

제품 문의

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