๋น๋์ค ๋ฐ ์น ์ธ๋ฏธ๋

ํธ๋ ์ด๋์ฉ ๋น๋์ค๋ฅผ ๋ณด๋ฉด์ ๋ถ๊ด ํ์ ์ธก์ ์ ๋ํด ์์ธํ ์์๋ณธ ๋ค, ์น ์ธ๋ฏธ๋ ์ปฌ๋ ์ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ์ ๋ํด ์์๋ณด์ญ์์ค.
๋ถ๊ด ํ์์ ์์ ์ธต๊ณผ ํ๋ฉด ํน์ฑํ์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ ํ๋ฉด ๋ฏผ๊ฐ์ฑ, ๋นํ๊ดด์ฑ, ๋น์นจ์ ์ฑ ๊ดํ ๊ธฐ๋ฒ์ ๋๋ค. ๊ฐ๋จํ๊ฒ ๋ฐ๋ง ์๋ฃ์์ ๋น์ค๋ฌํ ๋ฐ์ฌ๋๋ฉด์ ๋น์ ํธ๊ด ์ํ ๋ณํ๋ฅผ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ์ธก์ ํฉ๋๋ค. ๋ฌผ์ง์ ์ข ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ, ๋ถ๊ด ํ์๊ณ๋ ๋ช ร ์์ ์์ญ ๋ฏธํฌ๋ก (ใ)์ ๋๊ป๋ฅผ ์ธก์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ค์ธต ๋ฐ๋ง ์ธก์ ์๋ ์ ํฉํ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค.
๋ถ๊ด ํ์ ์ธก์ ๋ฒ์ ์ธต ๋๊ป, ๊ดํ ํน์ฑ(n,k), ๊ดํ ๋ฐด๋ ๊ฐญ, ๊ณ๋ฉด ๋ฐ ๊ฑฐ์น ๊ธฐ ๋๊ป, ํ๋ฆ ์กฐ์ฑ, ๊น์ด ๋ฐ ๋ฉด์ ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ท ์ผ์ฑ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ค์ํ ๋ฐ๋ง ํน์ฑ์ ํน์ฑํํ ์ ์๊ฒ ํฉ๋๋ค.
๋ถ๊ด ํ์๊ณ์ ์ ํฉํ ์ฌ๋ฃ๋ก๋ ๋ฐ๋์ฒด, ์ ์ ์ฒด, ๊ณ ๋ถ์, ์ ๊ธฐ๋ฌผ, ๊ธ์ ๋ฑ์ด ์์ต๋๋ค. ํ์์ธก์ ๋ฒ์ ๊ณ ์ฒด-์ก์ฒด ๋๋ ์ก์ฒด-์ก์ฒด ๊ณ๋ฉด์ ์ฐ๊ตฌํ๋ ๋ฐ๋ ์ฌ์ฉ๋ ์ ์๋ค.
HORIBA ๋ถ๊ด ํ์๊ณ๋ ํ์ ์ ์ธ ๊ธฐ์ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๊ธฐ๊ณ์ ์์ง์ ์์ด ๊ณ ์ฃผํ ํธ๊ด ๋ณ์กฐ ์ธก์ ์ ์ํํ์ฌ ๊ธฐ์กด ํ์๊ณ์ ๋นํด ๋น ๋ฅด๊ณ ๋์ ๋ฒ์์ ๋์ ํน์ฑ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
Spectroscopic Ellipsometer from FUV to NIR: 190 to 2100 nm
Spectroscopic Ellipsometer for Simple Thin Film Measurement
Powerful and Cost Effective Spectroscopic Ellipsometer
In-situ spectroscopic ellipsometer for real-time thin film monitoring
For Flat Panel Display and Photovoltaic Industries
In-Line Spectroscopic Ellipsometer for Web Coater and Roll to Roll Systems
HORIBA์ ํ์ ์์ธํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ํ์๋ฉด, ์๋์ ์์์ ๋ด์ฉ์ ์ ๋ ฅ์ ๋ถํ๋๋ฆฝ๋๋ค.