Digital Automatic Pressure Regulator UR-Z700 series

Digital Automatic Pressure Regulator UR-Z700

UR-Z700 series는 고정밀도 압력 센서, 고분해능·고속 응답의 Piezo Valve 를 탑재한 디지털 타입의Auto Pressure Regulator 입니다. 디지털 네트워크의 실현에 의해, 고도의 액체 재료 기화 시스템의 구축, 배선 단축화에 의한 심플한 가스 패널의 구축 등, 한층 더 높은 수준의 유체 제어 시스템이 구축이 가능해졌습니다.또, Ultra Clean 대응으로, 초고순도 가스 공급계나 활성 가스 라인 등의 압력 제어 기기에 최적입니다.

Segment: Semiconductor
Division: Fluid Control
Manufacturing Company: HORIBA STEC, Co., Ltd.

Ultra Clean 대응
장착 자세가 자유로운 마운트 프리 디자인 
일차측 제어 타입(-B타입), 2차측 제어 타입 구성
Gauge압력 타입, 절대 압력 타입 선택 가능
RoHS 대응

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외형도

제품 문의

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